研究設備

溶解装置

1.電子ビーム溶解装置

 本装置は、電子ビームを用いて、これまで溶解が困難であった高融点金属およびセラミックなどの材料の溶解,凝固を行うことができる真空溶解装置である。制御性の良い電子ビームを熱源にしているため、溶解速度、溶解温度の調節が容易である。
 現在、金属シリコン中の不純物であるリン、ポロンなどの真空排除、またチタン中の酸素の真空除去、レアメタルの精製および金属間化合物の製造、ならびにガスを流しながら溶解を行い鉄の脱酸・脱炭になどに使用している。


 本研究室は2台の電子ビーム溶解装置を所有している。
 千葉実験所には、最大出力400 kWの大型電子ビーム溶解装置があり、スクラップシリコンから、太陽電池用のシリコンを製造するプロセス開発をパイロットスケールで行っている。

2.プラズマアーク溶解装置

 プラズマアーク溶解装置は、高温の熱源としてArプラズマを使用して、 材料の溶解を行う装置である。チタン・アルミ系およびニオブ・アルミ系金属間化合物など蒸気圧の大きく異なる元素によって構成されている合金を溶解するために、雰囲気圧力の調整と制御性を兼ね備えている。

 装置の出力は最大30 kWであり雰囲気圧力は大気圧〜6KPaの任意の圧力で制御可能である。

© 2013 Copyright  |  MAEDA Laboratory, Institute of Industrial Science, The University of Tokyo  |  All Rights Reserved